構造解析

装置 1

走査電子顕微鏡/エネルギー分散型Ｘ線分析

装置 2

後方散乱電子回折法

装置 3

集束イオンビーム装置

装置 4

集束イオン / 電子ビーム加工観察装置

装置 5

集束イオンビーム加工観察装置（マイクロサンプリング）

装置 6

走査型透過電子顕微鏡 / 電子エネルギー損失分光法

装置 7

透過電子顕微鏡

装置 8

XRD (X線回折：X‐ray diffraction)

装置 9

NMR (核磁気共鳴分光分析：Nuclear Magnetic Resonance)

表面解析

装置 1

表面分析の種類と特徴

装置 2

オージェ電子分光法

装置 3

Ｘ線光電子分光分析法

装置 4

飛行時間型二次イオン質量分析法

装置 5

フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ

その他

装置 1

原子間力顕微鏡

装置 2

走査型容量 / マイクロ波顕微鏡

装置 3

発光解析装置

装置 4

ＩＲ(赤外)顕微鏡

装置 5

拡がり抵抗測定

装置 6

フーリエ変換赤外分光光度法

装置 7

ガスクロマトグラフィー質量分析

装置 8

表面・界面切削試験装置

装置 9

ウルトラミクロトーム

装置 10

強度評価試験装置

装置 11

大気非暴露条件下での前処理技術

装置 12

断面イオンミリング装置

装置 13

AFM-IR(Atomic Force Microscope infrared-spectroscopy)