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原理

鋭利な切刃を用いて、表面から界面へと連続的に切り込み、その深さ（垂直変位量）と切削力（水平･垂直力）から密着性や材料強度を解析する装置である。

装置概要

分析可能材料

塗装膜、蒸着膜、めっき、金属酸化物、樹脂等

分析事例

ウエハ裏面メタルの密着性評価
ベース板レジスト密着性評価
めっきの物性調査

サンプル制限

高さ（厚み）：7mmまで
大きさ：58mm x 70mm（6inchウエハ可）
平滑性のある平板形状のサンプル。（凹凸や球状の場合は困難）
極硬材、ゲルのような極度の軟材は不可。

分析の際に必要な情報

材質、断面構造と膜厚、面出しに必要な面積。

アプリケーション

被着体の物性値算出：せん断強度、密着性（剥離強度）を数値化。
強度の深さ方向解析： 材料変質の深さ方向の強度解析。
分析前処理： 表面分析の深さ方向解析のための面出し、分析試料採取。
観察： 剥離状態、切削状態の観察が可能。

評価事例

種々の条件下で測定対象物の破断強度や接合強度、引張強度等を測定する。

装置概要

分析事例

サンプルの大きさや、材質、評価内容によって装置選定を行い、データ取得を行う。

オートグラフによる 『はんだ材の引張強度評価』

組成変化に伴う物性変化が評価可能。

マイクロオートグラフによる 『Auワイヤ接合強度評価』

ネック部から破断しており、ボンディング部の強度は問題無いと判断。

Au W/BやAl W/B、その他はんだ接合等の接合強度を測定することが可能。

マイクロサーボによる 『Cuワイヤの高温引張強度評価』

高温になるほど破断荷重は低下し、伸び量は大きくなる。

Au,Al, Cuワイヤやその他金属端子等の各温度条件による強度を測定することが可能。

原理

正四角錐のダイヤモンド圧子（対面角136°）を用い､ある一定荷重で試験面を押しつけてくぽみを付ける。荷重をくぼみ表面積で割った値をビッカース硬さ（HV；vickers hardness）とする。

装置概要

測定仕様

• 測定荷重：4.9mN～19.6N(0.5g ～2kg)
• 荷重保持時間：5～60秒
• 硬さ表示：HV→HK､HRA､HRB、HRC､HS､HBなどに変換可
• 最小測定厚み：2～3μm(材料により異なる)

測定概要

アプリケーション

• 金属材料の硬さ測定
  樹脂・ゴムなどの弾性体は測定不可
• 硬さからの弾性率を算出

分析事例

歯車表面の焼入れ状態の調査