マイクロビッカース硬度計による硬度評価│メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社│三菱電機グループ

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マイクロビッカース硬度計とは、金属や樹脂材料の微小部の硬度を
高精度に測定する装置です。

マイクロビッカース硬度計とは、金属や樹脂材料の微小部の硬度を高精度に測定する装置です。
計測された硬さから弾性率を算出することもできます。2～3μm程度の厚みがあれば測定可能です。
また断面加工を実施すれば多層薄膜のそれぞれの硬度を測定することも可能です。

マイクロビッカース硬度計
正四角錐のダイヤモンド圧子(対面角136°)を用い､ある一定荷重で試験面を押しつけてくぽみを付ける。荷重をくぼみ表面積で割った値をビッカース硬さ( HV；vickers hardness )とする。

　・測定荷重：0.0049～19.6N
　・荷重保持時間：5～60秒
　・硬さ表示：HV→HK､HRA､HRB、HRC､HS､HBなどに変換可
　・最小測定厚み：2～3μm (材料により異なる)

　歯車表面の焼入れ状態の調査

(歯車表面の焼入れ分布)