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| 事例紹介太陽電池･リチウムイオン電池関連 事例
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事例２８ ｜ イオンミリングによるAl箔超音波接合断面のSEM観察
機械加工ダメージの影響を受けやすいAl材料について イオンミリングにて加工ダメージレス、広範囲の断面作成が可能。
前処理方法
Alタブ(200μm)/Al箔(20μm)×50枚/Alタブ(200μm)で積層し超音波接合した。
広域イオンミリング断面加工範囲
断面SEM観察結果
 ・凸部と凹部で比較すると、凸部ではAlタブ-Al箔間，Al箔-Al箔間に空隙が確認された。
・凹部ではAlタブが薄くなり、Alタブ-Al箔間，Al箔-Al箔間の空隙の減少が確認された。
イオンミリングによる機械加工ダメージレス、広範囲の断面加工が可能です。
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