事例７ ｜ 大気非暴露TOF-SIMSを用いた負極の構造解析

大気非暴露TOF-SIMSの特徴

TOF-SIMS（ION TOF）

トランスファーベッセル

●質量スペクトル解析により、化合物の 　構造を推定可能。 ●フラブメント成分毎のイメージングが 　可能。 ●深さ方向分析、3次元イメージングも 　取得可能。

負極充放電後のTOF-SIMS解析

検出された主要フラグメント類 ●正イオン成分：Li、Na、LiOH、Li2F、CO3Li、K、Ni、LiCoF ●負イオン成分：F、LiO2、PO3、LiPF3、LiPO3、Na3PO3H	主成分のデプスプロファイル(充電状態)
主要成分の相対強度比較（全成分に対する対象成分の強度値を比較）
主要成分のイメージング	主成分のデプスプロファイル(放電状態)

まとめ

○XPSでは検出されなかったNa、K、Niが検出された。（微量成分も検出可能）
○XPSでは強度が弱く解析出来なかったPは、リン酸類、Liフッ化物等として存在する。
○充電状態の最表面はLiF、LiPF等のフッ化物が富裕である。
○放電状態の最表面はLiCO₃、LiO₂等の炭酸塩、酸化物が富裕である。