事例５ ｜ 大気非暴露STEMを用いた正極、負極の局所構造解析

大気非暴露STEMの特徴

			●nmオーダーの局所観察、 　分析に最適。 ●EELS検出器を搭載。Liの 　局所的な分布も確認可能。 ●FESEM、FIB-SEMとの 　共通ホルダー搭載。
HD2300(日立)	トランスファーベッセル	試料装着後

放電状態正極のSTEM/EDX解析

透過像	ZC(コントラスト)像	偏析箇所の EDXプロファイル	特性X線マッピング

放電状態負極のSTEM/EDX解析

透過像	ZC(コントラスト)像	活物質膜の EDXプロファイル	特性X線マッピング

放電状態正極のSTEM/EELS解析

EELS分析位置(□部)	EELSマッピング(Li)	EELSスペクトル(Li)

まとめ

○EDX分析の結果、正極活物質の一部（表層部）にZr、Caの偏析が認められた。
　また負極活物質内にCoの偏析が確認された。
○EELSマッピングでLiの分布を確認可能。