事例４ ｜ 大気非暴露FIB･FESEMを用いた活物質の断面観察

大気非暴露FIB-FESEMの特徴

			●FIB加工断面に対し、そのままSEM観察 　が可能。 ●FIB加工/SEM観察を自動で行い、試料 　の3次元画像を構築。 ●SEM、STEMとの共通ホルダー搭載。
NB5000(日立)	トランスファーベッセル	試料装着後

正極、負極・活物質のFIB-FESEM観察像

FIBボックス加工例 （負極充電状態）

まとめ

○正極のSIM（Scanning Ion Microscopy）像を撮影する事で、活物質の結晶構造を可視化出来る。
○負極充電状態ではLiの挿入によってグラファイトが膨張し、グラファイト間の隙間が狭くなっていると
　思われる。