ここから本文

分析評価事業

分析評価事業
分析評価事業 トップページ
装置原理
事例紹介
ご依頼の流れ
お問い合わせ
アンケート回答
img
事例紹介ウェハ関連 事例

事例9 | STI構造の高分解能TEM観察
STI: Shallow Trench Isolation

HR-TEM像 (低倍)
STI構造の高分解能TEM観察
Via-Right部・拡大像

STI構造のSi-Sub格子、トレンチ部ダメージを原子レベルで確認可能。
Get ADOBE READER
img

ページトップへ戻る