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事例紹介ウェハ関連 事例 |
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事例９ ｜ STI構造の高分解能TEM観察 HR-TEM像 (低倍)
Via-Right部・拡大像
STI構造のSi-Sub格子、トレンチ部ダメージを原子レベルで確認可能。
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事例９ ｜ STI構造の高分解能TEM観察 HR-TEM像 (低倍)
Via-Right部・拡大像
STI構造のSi-Sub格子、トレンチ部ダメージを原子レベルで確認可能。
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