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3D-TEMの解析事例 (コンタクト部構造確認)
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事例８ ｜ 3D-TEMの解析事例 (コンタクト部構造確認)
3D-TEMにより極微小部の構造を立体的に確認することができます。
3D‐STEM観察原理
配線層のTEM像
↓↓↓画像をクリックして下さい↓↓↓
立体再構築動画が再生されます。
