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事例紹介ウェハ関連 事例 |
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事例５ ｜ 断面からの観察手法および精度
断面観察における観察手法と位置精度 
■対象物の大きさや目的倍率に応じた最適な手法を選ぶ事が重要!!
FIBマイクロサンプリング/TEM観察方法 
●前処理に熟練を要する
●調料作成に時間を要する 
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事例紹介ウェハ関連 事例 |
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事例５ ｜ 断面からの観察手法および精度
断面観察における観察手法と位置精度
■対象物の大きさや目的倍率に応じた最適な手法を選ぶ事が重要!!
FIBマイクロサンプリング/TEM観察方法
●前処理に熟練を要する
●調料作成に時間を要する
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