事例3 | 金属積層膜のXPS・TOFSIMS分析
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試料断面構造 |
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金属積層膜のデプスプロファイル(SiO2換算)
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ナロースペクトル多重表示 |
●デプスプロファイル
深さ方向への元素の濃度変化を検証
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●ナロースペクトル多重表示
深さ方向への状態変化も検証可能 |
TOFSIMSは最表面分析法の一つで、金属化合物の状態や有機化合物の推定が可能。
また、スパッタガンを併用することでDepth Profiling(深さ方向分析)が可能となり、金属の多層構造の状態評価等に用いられる。
■分析アプリケーション |
①表面定性分析 |
②表面イメージング |
③Depth Profiling(深さ方向分析) |
④断面Depthイメージング |
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①表面定性分析 (例)Auめっき上しみ部分析 |
③Depth Profiling(深さ方向分析)(例)金属の多層構造評価 |
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②表面イメージング (例)Auめっき上しみ部分析 |
④断面Depthイメージング (例)金属の多層構造評価 |
イメージ像→各成分の位置情報(表面・深さ方向分布)を視覚的に表示
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