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事例紹介ウェハ関連 事例

事例3 | 金属積層膜のXPS・TOFSIMS分析

金属積層膜のXPS分析
試料断面構造
ナロースペクトル多重表示
試料断面構造
金属積層膜のデプスプロファイル(SiO2換算)
金属積層膜のデプスプロファイル(SiO2換算)
ナロースペクトル多重表示
デプスプロファイル
 深さ方向への元素の濃度変化を検証
ナロースペクトル多重表示
 深さ方向への状態変化も検証可能

金属積層膜のTOFSIMS分析

TOFSIMSは最表面分析法の一つで、金属化合物の状態や有機化合物の推定が可能。
また、スパッタガンを併用することでDepth Profiling(深さ方向分析)が可能となり、金属の多層構造の状態評価等に用いられる。

分析アプリケーション
①表面定性分析 ②表面イメージング ③Depth Profiling(深さ方向分析) ④断面Depthイメージング
表面定性分析(例)Auめっき上しみ部分析 Depth Profiling(深さ方向分析)(例)金属の多層構造評価
①表面定性分析 (例)Auめっき上しみ部分析 ③Depth Profiling(深さ方向分析)(例)金属の多層構造評価
   
表面イメージング(例)Auめっき上しみ部分析 断面Depthイメージング(例)金属の多層構造評価
②表面イメージング (例)Auめっき上しみ部分析 ④断面Depthイメージング (例)金属の多層構造評価
イメージ像→各成分の位置情報(表面・深さ方向分布)を視覚的に表示
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