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分析評価事業
事例紹介
EPMA分析(WDX分析)によるAuワイヤーボンディング Au-Al IMC腐食部の分析
事例紹介
実装・アセンブリ関連 事例
事例１２ ｜ EPMA分析(WDX分析)によるAuワイヤーボンディング
Au-Al IMC腐食部の分析
元素マッピング領域
FE-EPMA元素マッピング
Cl
O
EDX元素マッピング
Cl
O
FE-EPMA定性分析・半定量結果
半定量結果 (Atm%)
Au
Al
O
Cu
Cl
Si
56.82
23.73
14.51
2.70
1.06
1.18
註：Cは除いて算出
EDXでは確認できない腐食部のClが、FE-EPMAでは明瞭に確認することが可能です。
