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事例紹介
Snめっき酸化膜のTEM解析
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実装・アセンブリ関連 事例
事例15 | Snめっき酸化膜のTEM解析
はんだ接合等で問題となる金属表面酸化膜について、TEM解析にて数十nm程度の
ごく薄い酸化膜を断面観察により確認できます。
又、電子線回折では酸化物の構造を確認することが出来ます。
TEM-EDSスペクトル
ナノ電子線回折結果
・数百nmレベルの局所観察、組成分析にはTEMが必要
・EDSでは元素情報しか得られ無いが、電子線回折ではその構造を解析可能