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事例紹介実装・アセンブリ関連 事例

事例14 | 半導体パッケージの樹脂開封

発煙硝酸では開封できない樹脂や発煙硝酸では溶解してしまう
Cuワイヤ品の半導体パッケージを開封することも出来ます。

半導体パッケージ内部のチップ表面やワイヤーボンディングを直接観察するには、それらに影響を与えないようにモールド樹脂を除去する必要があります。
一般的には発煙硝酸やレーザーを用いて開封しますが、発煙硝酸では開封できない樹脂や発煙硝酸では溶解してしまうCuワイヤ品の開封をすることも出来ます。

特徴

 ・Auワイヤ品のほかCuワイヤ品の対応も可能。

分析可能材料

 ・モールド樹脂封止パッケージ

分析の際に必要な情報

 ・解析の目的
 ・チップ素材
 ・ワイヤおよびフレームの金属種

作業の概要 (リードフレーム型、CuワイヤPKG)

半導体パッケージの樹脂開封作業
半導体パッケージの樹脂開封作業

分析事例

 ・チップ表面観察等の構造解析
 ・ワイヤボンディング接合状況観察
 ・故障解析前処理

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