事例１３ ｜ SAT(超音波映像装置)

SAT(超音波映像装置)では、水中に設置したサンプルに超音波を照査し､その反射波や透過波を解析することで､ サンプル中の層間剥離等を非破壊で確認することが可能です。
半導体パッケージではモールド樹脂とリードフレームやチップ間の剥離、ダイボンドはんだ中のクラックやボイドを確認することができます。

装置概要

装置概要	■特徴 　・非破壊での剥離位置特定が可能。 　・ごく薄い剥離の解析が可能。 　 ■アプリケーション 　・反射観察像 　・透過観察像

観察事例(反射法)

■分析可能材料 　・平坦な半導体PKG 　・剥離の可能性のある層構造を 　　有する部材等 　 ■分析の際に必要な情報 　・サンプル内部構造 　・剥離を確認したい位置