事例１０ ｜ EPMA分析(WDX分析)によるPbフリーはんだ定性分析

　EPMAは波長分散型(WDX)の検出器を搭載しており､一般的にエネルギー分散型(EDX)よりも高感度で 100ppm程度(＝0.01％)の検出感度があり且つ近接ピークの分離が可能であるためEDXでは確認できない 微量元素を確認することができます。
　また電界放射型の電子銃を搭載したFE-EPMAは､従来のEPMAでは不可能であった微小部100nmの元素分析が可能です。

Pbフリーはんだ組成をEPMAにて分析

反射電子像

結果

・EDX分析では、微量添加元素や近接元素の存在を確認できない。
・WDX分析は、EDX分析と比較して高感度且つ近接ピークの分離が可能であるため、
　Sn相へ微量のSbが存在していることが確認できた。