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分析評価事業

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事例紹介実装・アセンブリ関連 事例

事例8 | FE-SEMによる半導体の各種バンプ接合部評価

物理解析サービス(断面SEM/EDX/EBSD)
金属、樹脂、複合材あらゆる材料の断面解析にご対応致します!

機械研磨
ミクロトーム
クライオイオンミリング
(IM4000:日立)
FIB
(SMI3050:日立(旧SII))
IM4000
(IM4000)
FESEM/EDX/EBSD
(S4300SE:日立)
FESEM/EDX
(JSM6700F:JEOL)
FESEM/EDX
(JSM6335F:JEOL)
S4300SE
(S4300SE)

断面研磨加工 → FE-SEM観察(半導体の各種バンプ接合部評価)
アウターボール接合断面
(アウターボール接合断面)
ACF接合断面
(ACF接合断面)
ILB接合断面
(ILB接合断面)
Au-Sn接合断面
(Au-Sn接合断面)
ハンダボール接合断面
(ハンダボール接合断面)

断面研磨加工 → FE-SEM観察 → EDX分析(はんだ化合物の元素分析)
反射電子像
EDX点分析スペクトル
EDX元素マッピング
(反射電子像)
(EDX点分析スペクトル)
(EDX元素マッピング)
反射電子像の組成コントラストを元素マッピングにより確認可能
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