事例6 | TOF-SIMSによるAuめっき表面変色部分析
表面分析サービス(TOF-SIMS)
nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介
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AES |
XPS |
TOF-SIMS |
絶縁物 |
× |
○ |
○ |
定量性 |
○ |
○ |
×
(ただし高感度) |
取得情報 |
× |
△ |
○
(化合物構造) |
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(TOF-SIMS:iontof5) |
表面定性分析&表面イメージング(Auめっき表面変色部分析)
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Auパッド |
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有機物・無機物問わず同時にかつ詳細に高感度で分析可能
深さ方向分析(金属多層膜中のO及び酸化物の存在確認)
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単体元素だけで無く、化合物においても高感度で深さ方向分析を実施する事が可能
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