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事例紹介実装・アセンブリ関連 事例

事例5 | FE-AES/μ-XPSによる分析Agメッキ表面の変色部評価

表面分析サービス(FE-AES/μ-XPS)
nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介
 
AES
XPS
TOF-SIMS
絶縁物
×
定量性
×
取得情報
×
(元素情報)

(化学情報)

(構造・組成)
FE-AES:JAMP7830
(FE-AES:JAMP7830)
μ-XPS:Quantera2
(μ-XPS:Quantera2)

[AES] 表面定性分析&深さ方向分析(Agメッキ表面の変色部評価)
光学観察像
二次電子像
表面定性スペクトル
深さ方向分析
光学観察像
二次電子像
表面定性スペクトル
深さ方向分析
表面から数nm~数十nm程度の元素の存在を確認する事が可能

[XPS] 深さ方向分析(Cuフレーム上のSnめっき表層構造評価)
化学状態をデプスプロファイルに反映することで、詳細に層構造を把握することが可能
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