事例5 | FE-AES/μ-XPSによる分析Agメッキ表面の変色部評価
表面分析サービス(FE-AES/μ-XPS)
nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介
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AES |
XPS |
TOF-SIMS |
絶縁物 |
× |
○ |
○ |
定量性 |
○ |
○ |
× |
取得情報 |
×
(元素情報) |
△
(化学情報) |
○
(構造・組成) |
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(FE-AES:JAMP7830)
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(μ-XPS:Quantera2)
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[AES] 表面定性分析&深さ方向分析(Agメッキ表面の変色部評価) |
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光学観察像 |
二次電子像 |
表面定性スペクトル |
深さ方向分析 |
表面から数nm~数十nm程度の元素の存在を確認する事が可能
[XPS] 深さ方向分析(Cuフレーム上のSnめっき表層構造評価)
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化学状態をデプスプロファイルに反映することで、詳細に層構造を把握することが可能
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