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事例紹介実装・アセンブリ関連 事例

事例6 | TOF-SIMSによるAuめっき表面変色部分析

表面分析サービス(TOF-SIMS)
nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介

 
AES
XPS
TOF-SIMS
絶縁物
×
定量性
×
(ただし高感度)
取得情報
×

(化合物構造)
TOF-SIMS:iontof5
(TOF-SIMS:iontof5)
例えばこんなことが出来ます!

表面定性分析&表面イメージング(Auめっき表面変色部分析)
Auパッド
Auパッド
有機物・無機物問わず同時にかつ詳細に高感度で分析可能

深さ方向分析(金属多層膜中のO及び酸化物の存在確認)
単体元素だけで無く、化合物においても高感度で深さ方向分析を実施する事が可能

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