装置１３ ｜ AFM-IR

原理

AFM-IRはAFMと赤外分光法を組み合わせた分光手法である。
試料にパルスレーザーを照射した際に生じる熱膨張をカンチレバーが感知して減衰振動が得られる。
その波形を解析することでIRスペクトルに近似のデータを得る分析手法である。

装置概要

・分析面がフラットな固体試料全般

・ガス､液体､軟らかい固体は分析不可
・分析面は高低差数μm程度の平滑面
　（1μm以下が望ましい）
・分析面より高い障害物が無いこと
・□30mm以内で高さが＜10mm以内
・対象物が動かないこと
・対象物表面に妨害となる膜がないこと

・樹脂中の超微小異物解析
・超薄膜の断面方向からの分析
・フｨﾙムの超微小異常部の解析
・高分子フィルム内部劣化の分析

・分析対象箇所周辺に4点マｰキンクﾞ（可能なら数十μm以内の位置に）
・近傍の特徴的形状との位置関係を示す低倍～高倍OM写真

○数μmレベルの微小異物の同定が可能。
○IR以外でAFM (凹凸形状)､DFM (機械物性-粘弾性)､ナノTA (熱物性-軟化点)の情報も得られる。

樹脂中超微小異物のnanoIR分析

断面SEM ・数μmの粉状物が存在	Topograph