装置１１ ｜ 大気非暴露条件下での前処理技術

原理

大気に含まれる水分や酸素・窒素等で変質するサンプルは、大気暴露することなく前処理や装置導入をする必要がある。グローブボックス、トランスファーベッセルを用いることで大気非暴露条件下のサンプル前処理や装置導入、分析を可能にする。

トランスファーベッセル概要

	大気非暴露分析対応装置 表面分析装置：TOF-SIMS、XPS、AES 物理解析装置：SEM、FIB、STEM、TEM 前処理装置：イオンミリング (断面加工処理装置)
	前処理事例 金属表面の酸化膜評価 潮解性物質の評価 リチウムイオン電池解析全般

大気非暴露分析の効果　～二次電池負極(充電状態)～

大気非暴露下ではLiF構造であったが、大気暴露によってLi₂O，
Li₂CO₃の様な酸化物、炭酸塩を形成したと推測される。