装置８ ｜ 表面・界面切削試験装置【SAICAS^®】

原理

鋭利な切刃を用いて、表面から界面へと連続的に切り込み、その深さ(垂直変位量)と切削力(水平･垂直力)から密着性や材料強度を解析する装置である。

装置概要

分析可能材料

塗装膜、蒸着膜、めっき、金属酸化物、樹脂など

分析事例

ウエハ裏面メタルの密着性評価
ベース板レジスト密着性評価
めっきの物性調査

サンプル制限

高さ(厚み)：7mmまで
大きさ：58mm x 70mm (6inchウエハ可)
平滑性のある平板形状のサンプル (凹凸や球状の場合は困難)
極硬材、ゲルのような極度の軟材は不可

分析の際に必要な情報

材質、断面構造と膜厚、面出しに必要な面積

アプリケーション

被着体の物性値算出：せん断強度、密着性(剥離強度)を数値化
強度の深さ方向解析： 材料変質の深さ方向の強度解析
分析前処理： 表面分析の深さ方向解析のための面出し、分析試料採取
観察： 剥離状態、切削状態の観察が可能

評価事例

切削加工より異常部や多層膜断面を作成することで、
異常部内部や層構造状態を観察・分析することが可能。