装置４ ｜ IR(赤外)顕微鏡

原理

Siを透過するIRレーザーを用い、上層のメタルに隠れて見えない下層配線等をSi裏面側より透過観察する。

観察条件

・IRレーザーはメタルを透過しないため、チップ裏面のメタル除去が必要。
・透過観察時はSi面の鏡面仕上げが必要。
・Si基板の不純物濃度が高い試料は、Si薄厚化仕上げが必要。

装置概要

観察事例