装置１ ｜ 原子間力顕微鏡

原理

測定試料とカンチレバーの先端に取付けられたプローブとの原子間に働く相互作用を検出しながら走査し、カンチレバーの上下方向の変位から試料表面の凹凸を観察する。

装置概要

分析可能材料

金属・半導体材料
ガラス・プラスチック
その他、固体材料一般

サンプル制限

縦 x 横：200mm□以下(全面観察可能)
縦 x 横：300mm□以下(制限あり)
厚み：15mm以下
スキャンエリア X-Y軸：90μm以下
スキャンエリア X-Z軸：7μm以下
※周囲に突起物がないこと。

分析の際に必要な情報

予想される凹凸の程度
構成材料

特徴

○ 絶縁体・導電体問わず分析可能。
○ ナノメートルオーダーの凹凸観察、面粗さ測定が可能。
○ 観察前に金属蒸着等の前処理が不要。

アプリケーション

表面形状イメージング
表面粗さ解析

分析事例

ウエハ表面の凹凸観察
試料表面の面粗さ測定

表面凹凸観察　Siウエハ上へのメタルスパッタ時間振分け試料の観察　スキャンエリア：1μm□

スパッタ時間が長くなると、表面が粗くなることを確認。
数ナノメートルの凹凸の評価を行い、イメージ化・数値による比較が可能。

原子間力顕微鏡（PDF形式：627KB）