装置１ ｜ 表面分析の種類と特徴

表面分析は、サンプルの状態(対象箇所・大きさ、材質)や 知りたい情報(元素、化学状態、成分・量的)によって 常々最適な手法を選定し分析を行う。

表面分析の違い①【表面に当てるものと検出している(見ている)もの】

知りたい情報・分析条件・サンプルの材質等によって各種選択する。

EDS・・・エネルギー分散形X線分光法
AES・・・オージェ電子分光法
XPS・・・X線光電子分光法
TOF-SIMS・・・飛行時間型二次イオン質量分析法

表面分析の違い②【装置の特徴・性能】

表面分析の違い②-1【図解：検出深さと分析領域】

EDS：深いところ・大きい範囲の情報 → バルク分析に適している。
AES：微小領域・表層の情報 → 微小部分析に適している。
XPS・TOF-SIMS：表層の情報 → 表面分析に適している。

表面分析の違い②-2【図解：得られる情報と感度】

AES・EDS：元素情報、半定量比較が可能。
XPS：元素+化学状態情報、結合状態の推定が可能。半定量比較が可能。
TOF-SIMS：元素+化学状態+分子構造情報、有機成分同定が可能。
　　　　　　微量元素分析が可能。