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事例4 | STEM/EDX、TEMによるネオジム磁石評価

物理解析サービス(STEM-EELS/TEM)
超高倍率(nmオーダー)の微細観察&分析にご対応致します!

FIB
(FB2100:日立)
FIB-SEM/EDX/EBSD/STEM
(NB5000:日立)
NB5000
(NB5000)
STEM/EDX/EELS
(HD2300:日立)
TEM
(H9500:日立)
HD2300
(HD2300)
H9500
(H9500)

FIBサンプリング → STEM-EDX分析 → TEM観察(ネオジム磁石)

STEM観察像
粒界付近のSTEM-EDXライン分析結果
(STEM観察像)
(粒界付近のSTEM-EDXライン分析結果)
粒界相付近のTEM観察像
粒界付近のTEM観察像
(粒界相付近のTEM観察像)
(粒界付近のTEM観察像)
[粒界相、粒界付近の構造が多結晶~アモルファスである事を確認]

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