TSV、希土類磁石の解析技術│事例紹介│分析評価事業│メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社（MSEC）│三菱電機グループ

事例紹介その他分野　事例

物理解析Topics (TSV、希土類磁石)
最新の半導体プロセスから素材開発に至るまで幅広くご対応致します!

TSVの断面SEM観察

TSVの断面EBSP観察

（二次電子像）

（反射電子像）

(ND)

(TD)

(RD)

Cuメッキの結晶配向・粒度分布を
可視化・数値化することが可能

※試料ご提供：
　(財)福岡県産業・科学技術振興財団
　(三次元半導体研究センター)

ネオジム磁石のEDX元素マッピング

ネオジム磁石のTOF-SIMS分析

（反射電子像）

Cu（EDXでは未検出）

微量成分の分布を
確認することが可能

BO-(酸化物状態）

化合物成分の分布を
確認することが可能