大気非暴露FEAESを用いた負極解析│事例紹介│分析評価事業│メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社（MSEC）│三菱電機グループ

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分析評価事業
事例紹介
大気非暴露FEAESを用いた負極解析

事例紹介太陽電池･リチウムイオン電池関連　事例

事例１０｜大気非暴露FEAESを用いた負極解析

大気非暴露AESにより、負極(初期・放電状態)の任意箇所の点分析、
状態解析、深さ方向分析及びFIB断面におけるLi、O等の元素マッピングを実施。

装置概要

装置写真

装置写真

トランスファーベッセル

トランスファーベッセル

●EDX・WDXよりも微小領域の分析、および
　元素の状態解析が可能。
●Li含む元素濃度を反映したマッピング像を
　取得可能。
●微小領域のデプスプロファイルを取得可能。

負極(初期)の表面定性結果


分析箇所	ワイドスキャン結果	Liナロースキャン結果

負極(初期)深さ方向分析結果

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負極(初期)のFIB断面のマッピング分析結果

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まとめ

○表面定性結果：同一粒子内でも元素およびLiの状態が異なる箇所が確認された。
○深さ方向分析結果：Fは表面から5nmで消失した。またLi、C、Oは表層から100nmまで存在した。
○断面マッピング結果：グラファイト表層にLiの偏析が確認された。

大気非暴露FEAESを用いた負極解析（PDF形式：192KB）

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