大気非暴露FESEMを用いた負極の構造解析│事例紹介│分析評価事業│メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社（MSEC）│三菱電機グループ

事例紹介太陽電池･リチウムイオン電池関連　事例

大気非暴露下でリチウムイオンの挿入・脱離に伴う
活物質表面の形態変化を詳細に観察可能。

●EDX、EBSD解析も可能。
●NB5000(FIB-SIM)との共通ホルダー
　を搭載。試料の付替え無しにFIB、
　STEM解析も可能。

S4300SE(日立)

トランスファーベッセル

試料装着後

充電状態負極のEDX分析、元素マッピング像

マッピングエリアのEDXプロファイル

○充電によりグラファイト表面の微細な隆起が粗大化した。（Li挿入の影響）
○添加剤由来と考えられるSが確認された。
○Li塩由来のF、正極溶出成分であるCoが活物質上に均一に存在した。